作為半導體溫控領域的專業力量，普泰克（上海）制冷設備技術有限公司聚焦行業痛點，提供覆蓋前、中、后道全流程的溫控解決方案。

核心技術優勢

超高精度控溫：普泰克PTS系列高精度冷熱循環器采用動態PID+模糊控制算法，可實現±0.01℃～±0.1℃的控溫精度，滿足先進制程對溫度穩定性的苛求。

寬溫域與快速響應：覆蓋-45℃至300℃的寬溫度范圍，支持快速升降溫，適配光刻、刻蝕、薄膜沉積等不同工藝的差異化需求。

多通道獨立控溫：針對刻蝕等多反應腔室設備，提供單通道、雙通道、三通道系列產品，各通道可獨立設定溫度，避免工藝交叉干擾。

關鍵應用場景解決方案

高純前驅體材料溫控：針對ALD/CVD前驅體對溫度極度敏感、懼怕金屬離子污染的特性，普泰克提供PTFE/316L EP超高純流路，支持惰性氣氛吹掃，將控溫精度與材料純度保障提升至新高度。

化學品及研磨液精準控溫：刻蝕液、顯影液、CMP研磨液等化學品的溫度穩定性直接影響工藝均勻性。普泰克TLS系列精密冷水機采用耐腐蝕設計（可定制哈氏合金/PTFE流路），防顆粒、防結晶，保障CMP供液系統長期穩定運行。

智能化與節能：采用變頻智能控制技術，根據熱負載精準調節壓縮機輸出，在滿足制程需求的同時實現低能耗；全密閉循環系統避免油霧異味，延長導熱液壽命。

結語

隨著芯片制程向3nm及以下節點演進，溫度控制的精度正邁向±0.01℃級別。普泰克憑借對半導體溫控技術的深刻理解與持續創新，致力于為行業提供更精準、更可靠、更節能的Chiller解決方案，守護每一顆芯片的誕生。

普泰克（上海）制冷設備技術有限公司
專注半導體溫控，為“芯"制造保駕護航。