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普泰克制冷設備

專注于半導體行業溫控

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  • 普泰克 刻蝕工藝機專用Chiller

    普泰克 刻蝕工藝機專用Chiller,依托品牌在精密熱管理領域的深厚技術積累,專為半導體刻蝕(Etch)制程中嚴苛的溫度控制需求量身打造。

    更新時間:2026-07-28
    產品型號:
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  • 普泰克 刻蝕機臺冷板溫控

    普泰克 刻蝕機臺冷板溫控,在半導體刻蝕工藝中,等離子體反應產生的熱負荷對反應腔室及晶圓載臺(冷板)的溫度控制提出了較高要求。冷板表面溫度的穩定性與均勻性,直接影響關鍵尺寸(CD)的控制精度與刻蝕速率的批次一致性。

    更新時間:2026-07-16
    產品型號:
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  • 普泰克 光刻工藝溫度控制chiller

    普泰克 光刻工藝溫度控制chiller,依托成熟的熱力學循環與精密自動化控制技術,旨在為半導體光刻工藝提供穩定、潔凈、低振動的恒溫環境。

    更新時間:2026-06-29
    產品型號:
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  • 普泰克 光刻后蝕刻溫控

    普泰克 光刻后蝕刻溫控,依托其在精密熱管理領域的技術積累,致力于為半導體前道核心制程提供穩定、可靠的溫度控制解決方案。

    更新時間:2026-06-29
    產品型號:
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